納米壓痕技術也稱深度敏感壓痕技術，是zui簡單的測試材料力學性質的方法之一，在材料科學的各個領域都得到了廣泛的應用。

　　納米壓痕儀主要由軸向移動線圈、加載單元、金剛石壓頭和控制單元等四部分組成。壓頭材料一般為金剛石，常用的有伯克維奇壓頭(Berkovich)和維氏(Vicker)壓頭。壓入載荷的測量和控制是通過應變儀來實現，整個壓入過程由計算機自動控制，可在線測量載荷與相應的位移，并建立兩者之間的相應關系(即P—h曲線)。在納米壓痕的應用中，彈性模量和硬度值是常用的實驗數據，通過卸載曲線的斜率得到彈性模量E，硬度值H則可由大加載載荷和殘余變形面積求出。

　　隨著納米壓痕技術的不斷發展和完善，壓痕儀在材料力學性能的研究中得到了廣泛應用。它不但可以給出材料的硬度和彈性模量值，而且可以定量表征材料的流變應力和形變硬化特征、摩擦磨損性能、阻尼和內耗特性(包括儲存模量和損失模量值)、蠕變的激活能和應變速率敏感指數、脆性材料的斷裂韌性、材料中的殘余應力、材料中壓力誘發相變的問題、薄膜材料的力學性能等。實際上，任何一個可以從單軸拉伸和壓縮測試得到的力學性能參數都可以用壓痕的方法得到。